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主營干式真空泵、螺桿真空泵等

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product center

干式真空泵系列

干式真空泵

  • 產品名稱：干式真空泵
  • 產品分類：干式真空泵系列
  • 公司名稱：卡塞爾機械（浙江）有限公司
  • 聯系方式：135-7576-9127　153-5682-6256
  • 公司地址：浙江安吉天子湖工業園天子湖大道卡塞爾工業園
  • 添加時間： 2020/11/09
產品詳情
詢盤
干式真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
干式真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

干式真空泵


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更新時間：20/11/09 16:24:11  

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