干式螺桿真空泵的五種分類
干式螺桿真空泵由泵體、泵蓋、圓盤、機(jī)械密封、葉輪、電動(dòng)機(jī)等零部件組成。干式螺桿真空泵主要可以分為以下5類：
1、雙圓裂片式：
雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常類似。事實(shí)上，一些早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來(lái)的。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路非常復(fù)雜，并且每一級(jí)都需要很大流量的氮?dú)獠拍芷鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí)，為了可以實(shí)現(xiàn)更好的真空度，對(duì)各級(jí)的間隙有非常嚴(yán)格要求。當(dāng)然，干式螺桿真空泵這種設(shè)計(jì)正是因?yàn)樵黾恿藘?nèi)部壓縮比而使其耗電量相對(duì)比較低。
2、三葉圓裂片式：
三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理是相同的，它只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份，雙圓裂片式設(shè)計(jì)是分為兩份的。三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量，有的廠家在傳動(dòng)部分選用兩個(gè)直流馬達(dá)，但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動(dòng)能力下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)相同，三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要更大流量的氮?dú)獠趴梢云鸬较♂尯透綦x作用。
3、組合式（羅茨+爪）：
組合式（羅茨+爪）設(shè)計(jì)用羅茨來(lái)提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來(lái)提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路和圓裂片式設(shè)計(jì)完全一樣。也有廠家將其后一級(jí)改為星型設(shè)計(jì)，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就好比三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣，在很多工藝當(dāng)中，組合式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)獠趴梢云鸬较♂尯透綦x作用。
4、外部壓縮型螺桿式：
在外部壓縮型螺桿式的設(shè)計(jì)中，使用一對(duì)等距的螺桿。這使得內(nèi)部壓縮可以減到更小，同時(shí)使得氣體通路較短也更加簡(jiǎn)單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留時(shí)間也是比較短的。雖然這種設(shè)計(jì)是因?yàn)闇p少了內(nèi)部壓縮比，而使得其耗電量相對(duì)比較高，但在很多復(fù)雜半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出非常高的穩(wěn)定性。這種單級(jí)設(shè)計(jì)使得其對(duì)氮?dú)庥昧恳笠卜浅Ｐ《冶容^簡(jiǎn)單的，這樣就使得其在不同工藝中有非常好的互換性。在很多工藝中甚至可以不需要氮?dú)狻?/span>
5、內(nèi)部壓縮型螺桿式：
除了使用一對(duì)非等距螺桿以外，外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常類似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使其耗電量降低到同多級(jí)泵相當(dāng)?shù)乃?。在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級(jí)泵相同，更容易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或者液化現(xiàn)象。
雖然干式螺桿真空泵的種類越來(lái)越多，但是通常的機(jī)械真空泵如爪式泵，其抽速難以做大，而且制造難度也大，成本高；另外還有利用多葉級(jí)數(shù)進(jìn)行串連的羅茨泵，其缺點(diǎn)與爪式泵相仿。
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